近日,韓國某半導(dǎo)體制造企業(yè)采購部發(fā)郵件告知,其在洛陽薄壁精密軸承有限公司定制的型號為SB0080XP5不銹鋼等截面薄壁軸承在晶圓清掃設(shè)備中完成了連續(xù)無故障運行測試(企業(yè)要求3-5萬小時),助力設(shè)備月稼動率從82%躍升至90%,創(chuàng)下該企業(yè)產(chǎn)線效率新紀(jì)錄。這一突破性進(jìn)展標(biāo)志著國產(chǎn)高精密軸承在半導(dǎo)體核心設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進(jìn)口替代,并獲國外客戶認(rèn)可。
洛陽薄壁精密軸承有限公司自成立之初,即將產(chǎn)品重 心放在了開發(fā)生產(chǎn)等截面薄壁軸承上,經(jīng)過十多年的發(fā)展,企業(yè)研發(fā)能力得以增強,企業(yè)的生產(chǎn)也從最初的只生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)型號到來圖定制。
SB0080XP5是洛陽薄壁精密軸承專為晶圓設(shè)備苛刻工況定制的產(chǎn)品,其標(biāo)準(zhǔn)型號結(jié)構(gòu)為:內(nèi)徑165.1mm、外徑180.975mm、厚度7.938mm,定制產(chǎn)品采用SUS440C不銹鋼材質(zhì),不銹鋼密封,混合球結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了零顆粒污染,滿足了制程晶圓表面零缺陷要求;耐腐蝕升級,壽命較傳統(tǒng)軸承提升3倍;同時,其超低摩擦扭矩,降低機械臂電機負(fù)載。
在韓國工廠的實測中,SB0080XP5展現(xiàn)出可靠性:MTBF(平均無故障時間)達(dá)到了企業(yè)要求的標(biāo)準(zhǔn),設(shè)備稼動率得到了8%的提升。
“SB0080XP5的穩(wěn)定性遠(yuǎn)超預(yù)期!”該企業(yè)采購部樸部長表示,“測試數(shù)據(jù)證實,洛陽薄壁軸承的性能可對標(biāo)美系品牌,而成本優(yōu)勢顯著。我們計劃于本季度簽署連續(xù)供貨協(xié)議并建立戰(zhàn)略庫存,以保障產(chǎn)線擴產(chǎn)需求?!?br />
洛陽薄壁精密軸承有限公司技術(shù)楊總監(jiān)指出:“SB0080XP5的成功驗證了國產(chǎn)軸承‘ji
薄、ji凈、ji穩(wěn)’的技術(shù)路線。隨著全球半導(dǎo)體設(shè)備需求激增,我們已啟動陶瓷混合軸承(Si3N4球)與智能傳感軸承的研發(fā),賦能客戶向2nm及以下先進(jìn)制程沖刺?!?br />